Norm

ISO 13083:2015 en

Chemische analyse van oppervlakken - Scanning Probe Microscopy - Normen voor de definitie en calibratie van de ruimtelijk resolutie van Scanning Probe Microscopy en Scanning Capitance Microscopy

73,12

Over deze norm

Status Definitief
Aantal pagina's 14
Gepubliceerd op 15-08-2015
Taal Engels
ISO 13083 describes a method for measuring the spatial (lateral) resolution of scanning capacitance microscopes (SCMs) or scanning spreading resistance microscopes (SSRMs), which are widely used in imaging the distribution of carriers and other electrical properties in semiconductor devices. The method involves the use of a sharp-edged artefact.

Details

ICS-code 71.040.40
Nederlandse titel Chemische analyse van oppervlakken - Scanning Probe Microscopy - Normen voor de definitie en calibratie van de ruimtelijk resolutie van Scanning Probe Microscopy en Scanning Capitance Microscopy
Engelse titel Surface chemical analysis - Scanning probe microscopy - Standards on the definition and calibration of spatial resolution of electrical scanning probe microscopes (ESPMs) such as SSRM and SCM for 2D-dopant imaging and other purposes
Vervangt

Winkelwagen

Subtotaal:

Ga naar winkelwagen