Norm

ISO 14237:2000 en

Chemische analyse van oppervlakken - Secundaire ionen-massaspectrometrie - Bepaling van het atoom-boriumgehalte in silicium gebruikmakend van gelijk gedoteerde materialen

  • Deze norm is ingetrokken sinds 19-07-2010

98,05

Over deze norm

Status Ingetrokken
Aantal pagina's 22
Gepubliceerd op 01-02-2000
Taal Engels
Specifies a secondary ion mass spectrometic method for the determination of boron atomic concentration in single crystalline silicon using uniformly doped materials calibrated by a certified reference material implanted with boron. This method is applicable to uniformly doped boron in the concentration range from ix1016 atoms/cm³ to 1x1020 atoms/cm³.

Details

ICS-code 71.040.40
Nederlandse titel Chemische analyse van oppervlakken - Secundaire ionen-massaspectrometrie - Bepaling van het atoom-boriumgehalte in silicium gebruikmakend van gelijk gedoteerde materialen
Engelse titel Surface chemical analysis - Secondary ion mass spectrometry - Determination of boron atomic concentration in silicon using uniformly doped materials
Vervangt
Wordt vervangen door

Winkelwagen

Subtotaal:

Ga naar winkelwagen