Norm

ISO 16531:2013 en

Chemische oppervlakteanalyse - Diepte profiel - Methodes voor ionenbundel uitlijning en de bijbehorende meting van stroom of stroomdichtheid voor diepte profiel metingen met AES en XPS

73,12

Over deze norm

Status Definitief
Aantal pagina's 18
Gepubliceerd op 01-06-2013
Taal Engels
This International Standard specifies methods for the alignment of the ion beam to ensure good depth resolution in sputter depth profiling and optimal cleaning of surfaces when using inert gas ions in Auger electron spectroscopy and X-ray photoelectron spectroscopy. These methods are of two types; one involves a Faraday cup to measure the ion current and the other involves imaging methods. The Faraday cup method also specifies the measurements of current density and current distributions in ion beams. The methods are applicable for ion guns with beams with a spot size below ~1 mm in diameter. The methods do not include depth resolution optimization.

Details

ICS-code 71.040.40
Nederlandse titel Chemische oppervlakteanalyse - Diepte profiel - Methodes voor ionenbundel uitlijning en de bijbehorende meting van stroom of stroomdichtheid voor diepte profiel metingen met AES en XPS
Engelse titel Surface chemical analysis - Depth profiling - Methods for ion beam alignment and the associated measurement of current or current density for depth profiling in AES and XPS
Vervangt

Winkelwagen

Subtotaal:

Ga naar winkelwagen