Norm

NEN-ISO 14237:2010 en

Chemische analyse van oppervlakken - Secundaire ionen-massaspectrometrie - Bepaling van het atoom-boriumgehalte in silicium gebruikmakend van gelijk gedoteerde materialen

106,87

Over deze norm

Status Definitief
Aantal pagina's 19
Gepubliceerd op 01-07-2010
Taal Engels
This International Standard specifies a secondary-ion mass spectrometric method for the determination of boron atomic concentration in single-crystalline silicon using uniformly doped materials calibrated by a certified reference material implanted with boron. This method is applicable to uniformly doped boron in the concentration range from 1 × 1016 atoms/cm3 to 1 × 1020 atoms/cm3.

Details

ICS-code 71.040.40
Nederlandse titel Chemische analyse van oppervlakken - Secundaire ionen-massaspectrometrie - Bepaling van het atoom-boriumgehalte in silicium gebruikmakend van gelijk gedoteerde materialen
Engelse titel Surface chemical analysis - Secondary-ion mass spectrometry - Determination of boron atomic concentration in silicon using uniformly doped materials

Winkelwagen

Subtotaal:

Ga naar winkelwagen