Norm

NEN-ISO 18114:2003 en

Chemische analyse van oppervlakken - Secundaire ionen-massaspectrometrie - Bepaling van relatieve gevoeligheidfactoren van ion-geïmplanteerde referentiematerialen

31,57

Over deze norm

Status Definitief
Aantal pagina's 4
Gepubliceerd op 01-06-2003
Taal Engels
This International Standard specifies a method of determining relative sensitivity factors (RSFs) for secondary-ion mass spectrometry (SIMS) from ion-implanted reference materials. The method is applicable to specimens in which the matrix is of uniform chemical composition, and in which the peak concentration of the implanted species does not exceed one atomic percent.

Details

ICS-code 71.040.40
Nederlandse titel Chemische analyse van oppervlakken - Secundaire ionen-massaspectrometrie - Bepaling van relatieve gevoeligheidfactoren van ion-geïmplanteerde referentiematerialen
Engelse titel Surface chemical analysis - Secondary-ion mass spectrometry - Determination of relative sensitivity factors from ion-implanted reference materials

Winkelwagen

Subtotaal:

Ga naar winkelwagen