Norm

NEN-ISO 20341:2003 en

Chemische analyse van oppervlakken - Secundaire ionen-massaspectrometrie - Methode voor de schatting van diepte resolutie parameters met samengestelde deltalagen referentiematerialen

31,57

Over deze norm

Status Definitief
Aantal pagina's 5
Gepubliceerd op 01-08-2003
Taal Engels
This International Standard specifies procedures for estimating three depth resolution parameters, viz the leading-edge decay length, the trailing-edge decay length and the Gaussian broadening, in SIMS depth profiling using multiple delta-layer reference materials. This International Standard is not applicable to delta-layers where the chemical and physical state of the near-surface region, modified by the incident primary ions, is not in the steady state.

Details

ICS-code 71.040.40
Nederlandse titel Chemische analyse van oppervlakken - Secundaire ionen-massaspectrometrie - Methode voor de schatting van diepte resolutie parameters met samengestelde deltalagen referentiematerialen
Engelse titel Surface chemical analysis - Secondary-ion mass spectrometry - Method for estimating depth resolution parameters with multiple delta-layer reference materials

Winkelwagen

Subtotaal:

Ga naar winkelwagen